◆ 設備外形尺寸(不包括報警燈) 760(W)×850(D)×1750(H)mm ◆ 不銹鋼或合金鋁真空倉體尺寸(約60升) 450(W)×450(D)×510(H)mm ◆ 倉體結構 12層鋁合金放電電極,陽極氧化處理 ◆ 等離子發(fā)生器(韓國KM) 頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調節(jié),自動阻抗匹配，可連續(xù)長時間工作。 ◆ 控制系統(tǒng)
觸摸屏+PLC全自動控制，可進行多步工藝流程處理，采用歐姆龍、施耐德等進口品牌電器元件, 有手動、自動兩種控制模式，7”真彩觸摸屏，進口可編程控制器，可在線設定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù)，并具有故障報警、工藝存儲、密碼鎖定、系統(tǒng)維護等多種功能。
◆ 真空系統(tǒng) 日本愛發(fā)科(ULVAC)機械真空泵 VDN601 (17L/S) 真空專用電磁角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管）高精度真空計、規(guī)管 ◆ 充氣系統(tǒng) 兩路工藝氣體配置，美國高精度電子質量流量計(MFC)、針閥， 美國世偉洛克不銹鋼拋出現(xiàn)被限制詞語體管路及接口組件，德國雙級減壓閥