氟化硫分子式SF6； CAS號：2551-62-4
物化性質：
熔點 -50.5℃
升華溫度 -63.7℃
液體密度 1880kg/m3（-50.8℃）
臨界溫度 45.5℃
臨界壓力 3759KPa
臨界密度 736kg/m3
在常溫常壓下為無色無臭無毒的氣體。不燃燒。對熱穩定，化學性質不活潑。在500℃以上赤熱狀態下也不分解，在800℃以下很穩定。在250℃時與金屬鈉反應。沒有腐蝕性，可以用通用材料，不腐蝕玻璃。電絕緣性能和消弧性能好，絕緣性能為空氣的2-3倍，滅弧能力為空氣的100倍。而且氣體壓力越大，絕緣性能越增高。藥物學性質不活潑。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比水中多一些。不溶于***和氨。
應用：
電子設備、雷達波導、粒子加速器、變壓器、避雷器等的絕緣氣體，制冷劑，示蹤裝置，醫療，半導體制造中的蝕刻、化學汽相淀積、標準氣體、檢漏氣體，色譜儀的載氣。