技術(shù)參數(shù) ◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 倉體結(jié)構(gòu)(不銹鋼，約20升)420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 電極面積250(W) ×190(D) mm,3層
◆ 清洗模式RIE or DP模式自動(dòng)轉(zhuǎn)換
頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動(dòng)控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，
性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)德國萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制
◆ 氣路系統(tǒng)2路工藝氣體+1路氮?dú)馀渲?，電子質(zhì)量流量計(jì)、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路