1、時間短、速度快：常規熱力干燥殺菌是通過熱傳導，對流或輻射等方式將熱量從物體表面傳至內部。往往需要較長時間，物體內部才能達到所需的干燥度和殺菌溫度。介質由極性分子和非極性分子組成，電磁場作用下，這些極性分子從原來的隨機分布狀態轉向依照電場的極性排列取向。而在高頻電磁場作用下，這些取向按交變電磁的頻率不斷變化，這一過程造成分子的運動和相互摩擦從而產生熱量。此時交變電場的場能轉化為介質內的熱能，使介質溫度不斷升高，故微波加熱是介質材料自身損耗電場能量而發熱。所以微波加熱處理時間大大縮短，在一定功率密度強度下，一般只要數十秒、幾分鐘即能達到滿意效果。 
2、低溫干燥殺菌有效保持營養成份，微波有熱效應的快速升溫和非熱效應（生物效應：微波快速擊穿細菌細胞膜，細菌死亡）的雙重殺菌作用：相比常規熱力干燥、殺菌能在比較低的溫度和較短的時間就能獲得所需的干燥、殺菌效果。一般殺菌溫度在65—70℃，75—80℃時間在3—8分鐘，且能保留更多的食品營養成分和色、香、味、形等風味。例如：采用常規熱力處理蔬菜保留的維生素C是46—50%，相比之下，微波處理法能達到保留維生素C的60—90%，常規加熱法豬肝維生素A保留值為58%，而微波法加熱則可達84%。 
3、節約能源微波電能轉換效率高，一般在90%以上:微波是直接對食品進行作用處理，加熱箱體本身不被加熱，因而不存在額外的熱能損耗，所以節能省電，一般可節電30—50%。
4、均勻徹底:常規熱力干燥、殺菌是從物料表面開始，然后通過熱傳導傳至物料內部。物料內外溫度存在溫差，內外干燥、殺菌效果 一致性差。為了保持風味，縮短處理時間，往往內部達不到足夠溫度而影響干燥、殺菌效果。采用提高處理溫度可有所改善這一現象，然而這使物品表面的色、香、味、形等品質下降。微波具有穿透性能，表面和內部同時作用，能保證內、外部溫度一同達到要求值，所以干燥、殺菌均勻、徹底。 
5、便于控制、易實現自動化生產微波食品干燥、殺菌處理設備操作簡單，便于控制，沒有熱慣性，能根據不同食品工藝規范要求進行處理，減少生產操作人員，降低生產成本。