管式電阻爐
應(yīng)用領(lǐng)域
RGDL系列真空氣氛管式爐廣泛用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制，試驗用碳纖維碳化、晶體硅板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)可控生長等等，也可用于金屬材料的擴(kuò)散焊接及真空或氣氛保護(hù)下的熱處理。
主要特點(diǎn)
采用精煉石英管或高純剛玉管作為爐膛，可拆卸的密封方式，具有良好的潔凈度和真空度，耐火保溫材料全部采用先進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品，整機(jī)質(zhì)量輕、低能耗。加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒、硅碳棒或進(jìn)口電阻絲；溫度控制系統(tǒng)采用原裝進(jìn)口智能多段程序溫度控制儀控制，具有良好的穩(wěn)定性、均勻性。
技術(shù)指標(biāo)
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設(shè)備型號
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RGDL(D)
2/80/44
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RGDL(Z)
1/60/30
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RGDL(G)
3/60/60
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RGDL(D)
1/50/70
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RGDL(Z)
2/30/60
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RGDL(G)
1/50/80
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溫區(qū)個數(shù)
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2
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1
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3
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1
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2
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1
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最高溫度
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1100℃
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1400℃
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1650℃
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1200℃
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1400℃
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1650℃
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加熱區(qū)長度
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440mm
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300 mm
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600 mm
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500 mm
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600 mm
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500 mm
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爐管尺寸及材料
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Φ80石英管
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Φ60剛玉管
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Φ60剛玉管
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Φ70石英管
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Φ60高純剛玉管
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Φ80高純剛玉管
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裝機(jī)功率
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5kw
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8kw
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18kw
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8kw
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10kw
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12kw
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備注：RGDL系列管式爐全部可以按照客戶要求通入各種惰性、還原性、反應(yīng)性氣體，通過浮子流量計或質(zhì)量流量計控制氣體通入量。同時還可以通過單機(jī)機(jī)械泵或真空機(jī)組預(yù)抽真空，系統(tǒng)具備冷態(tài)極限真空6.67×10﹣² Pa 。
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