用途：應(yīng)用于集成電路 ( I C)和超大規(guī)模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕 ,是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一 ,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。還可用于太陽能電池行業(yè)硅表面清洗、蝕刻。
| 電子級(jí)氫氟酸 | ||||
| 級(jí)別 | UPS級(jí) | UP級(jí) | EL級(jí) | |
| 項(xiàng)目 | 單位 | 指標(biāo) | 指標(biāo) | 指標(biāo) |
| 含量 Assay(HF) | % | 49±0.5 | 49±0.5 | 49±0.5 |
| 氟硅酸（H2SiF6) | ppm | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| 氯化物 (Cl) | ppm | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
| 硝酸鹽 (NO3-) | ppm | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
| 磷酸鹽 (PO43-) | ppm | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| ***鹽和亞***鹽 | ppm | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
| 鋰 （Li） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鈉 （Na） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鎂 （Mg） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鋁 （Al） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鉀 （K） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鈣 （Ca） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鉻 （Cr） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 鐵 （Fe） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鈷 （Co） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 鎳 （Ni） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 銅 （Cu） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 鋅 （Zn） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 鎵 （Ga） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 鉬 （Mo） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 銀 （Ag） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 鎘 （Cd） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 錫 （Sn） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 鋇 （Ba） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 鉑 （Pt） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 金 （Au） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 錳 （Mn） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 鉛 （Pb） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 鈦 （Ti） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤10 |